マグネトロンスパッタリング機器は、材料表面処理やフィルムの準備など、多くの分野で重要な役割を果たします。機器の安定した操作を確保し、サービスの寿命を延ばし、スパッタされたフィルムの品質を確保するためには、毎日のメンテナンスが不可欠です。以下は、マグネトロンスパッタリング機器の毎日のメンテナンスの重要なポイントについて詳しく説明します。
真空システムのメンテナンス
1。真空ポンプのメンテナンス：真空ポンプは、マグネトロンスパッタリング装置の真空システムのコア成分です。真空ポンプのオイルレベルを定期的に確認して、オイルレベルが正常範囲内にあることを確認してください。長期使用後、不純物と水分の吸着により、真空ポンプオイルの性能が悪化します。一般に、真空ポンプオイルは、一定の操作期間ごとに交換する必要があります（たとえば、2000時間）。同時に、真空ポンプベルトの緊張を確認するために注意してください。ゆるいベルトは、真空ポンプの速度を不安定にし、排気効率に影響を与えます。きつすぎると、ベルトの摩耗が加速する場合があります。ベルトが摩耗や老化の兆候を示している場合は、時間内に交換する必要があります。
2。真空パイプの洗浄：真空パイプは、真空ポンプとスパッタリングチャンバーを接続するチャネルであり、スパッタリングプロセス中に生成されたほこり、不純物、粒子を吸収しやすいものです。専用の真空パイプクリーニングツールを定期的に使用して、パイプの内側をきれいにして、付着した不純物を除去します。洗浄が困難な部品の場合、ガス浄化を使用できますが、パージガスの清潔さを確保する必要があります。さらに、パイプの緊張を確認して、漏れがあるかどうかを確認します。わずかな漏れにより、真空度が理想的な状態に到達できず、スパッタリング効果に影響を与える可能性があります。ヘリウム質量分析計漏れ検出器を使用して、パイプの漏れを検出でき、漏れは時間内に修復できます。
3。真空ゲージのキャリブレーション：真空ゲージを使用して真空システムの真空度を測定し、その測定精度は、機器の動作状態のオペレーターの判断に直接関連しています。真空ゲージを定期的に調整し、一般に6か月に1回または1年に1回調整することをお勧めします。キャリブレーションプロセスは、機器メーカーが提供する運用マニュアルに従って実行する必要があり、標準のキャリブレーション機器を使用して、真空ゲージで測定された真空度データが正確で信頼性があることを確認する必要があります。
スパッタリングターゲットメンテナンス
1。ターゲット表面洗浄：スパッタリングプロセス中、スパッタリング製品と不純物はターゲット表面に徐々に堆積し、スパッタリング速度とフィルムの品質に影響します。機器を使用するたびに、ターゲット表面は時間内に清掃する必要があります。金属ターゲットの場合、特別なターゲットクリーニングブラシを使用して、表面堆積物をやさしく磨くことができます。セラミックターゲットなどのより敏感なターゲットの場合、適切な量の特別な洗浄剤に浸したきれいな柔らかい布で優しく拭くなど、より穏やかなクリーニング方法が必要です。ターゲットの表面をスクラッチするために鋭いツールを使用してターゲットの損傷を避けないでください。
2。ターゲットインストール検査：ターゲットのインストールを定期的に確認して、ターゲットがしっかりとインストールされていることを確認します。ターゲットは、スパッタリングプロセス中に高速イオンによって砲撃されます。しっかりと設置されていない場合、ターゲットが振るか、脱落さえする可能性があります。ターゲットとスパッタリング電源の間の接続が良いかどうかを確認してください。接続の緩みは、スパッタリングプロセスを不安定にし、スパークなどの異常な現象を引き起こす可能性があります。接続が緩んでいることが判明した場合、接続ボルトは時間内に締める必要があります。
3。ターゲットサービスライフ監視：さまざまな種類のターゲット資料には、特定のサービス寿命があります。ターゲットのスパッタリング時間とスパッタリング効果に細心の注意を払ってください。ターゲットのスパッタリング速度が大幅に低下し、フィルムの品質が変動すると、ターゲットがサービス寿命に近いことを意味する場合があります。スパッタリングプロセスの安定性とフィルムの品質の一貫性を確保するために、ターゲット材料を時間内に交換します。同時に、ターゲット材料の使用時間と関連するパラメーターを記録して、その後のターゲット材料の交換とパフォーマンス評価の基礎を提供します。
電気システムのメンテナンス
1。電源検査：マグネトロンスパッタリング機器の電源は、スパッタリングプロセスにエネルギーを提供し、その安定性は非常に重要です。電源の出力電圧と電流が正常範囲内であるかどうかを定期的に確認してください。プロの電気測定機器を使用して電源を検出して、出力パラメーターが機器の設定値と一致しているかどうかを確認できます。出力電圧または電流が異常に変動することがわかった場合、原因を迅速に調査する必要があります。これは、電源の内部コンポーネントの障害またはライン接続の問題である可能性があります。さらに、電源の熱放散を確認して、電源が動作中に正常に熱を消散できるようにします。電源は、長い間作業するときに多くの熱を生成します。熱散逸が悪い場合、コンポーネントに損傷を与える可能性があります。電源ラジエーターのほこりをきれいにして、冷却ファンが正常に動作していることを確認します。
2。電気回路のメンテナンス：機器内の電気回路が老化しているか損傷しているかを確認します。長期使用後、電気回路には断熱層の老化やワイヤーの損傷などの問題がある場合があり、安全上の危険をもたらし、機器の通常の動作に影響します。発見された老化または損傷回路の場合、それらは時間内に交換する必要があります。同時に、ライン接続がしっかりしていることを確認して、ゆるみを避けて接触が不十分であることを確認してください。接続ポイントが緩んでいると、機器の操作、機器のコンポーネントに損傷を与えたり、火災を引き起こす間も火花が発生する場合があります。ライン接続ポイントのネジを定期的に締め、プラグとソケットの間の接点を確認します。
3。制御システムのメンテナンス：機器の制御システムは、スパッタリングプロセスのさまざまなパラメーターの監視と調整を担当します。データの損失を防ぐために、コントロールシステムのデータを定期的にバックアップします。同時に、制御システムソフトウェアの更新プロンプトがあるかどうかを確認します。タイムリーなソフトウェアの更新により、既知の脆弱性を修正し、システムの安定性と機能を改善できます。さらに、コントロールシステムの動作インターフェイスをクリーニングして、ボタンとディスプレイ画面が適切に機能するようにし、オペレーターがパラメーターを正確に入力し、機器の操作情報を取得できるようにします。
冷却システムのメンテナンス
1。冷却剤検査：冷却システムは、操作中に機器によって発生する熱を減らすために使用されます。クーラントは、冷却システムの重要な媒体です。クーラントレベルを定期的に確認して、レベルが正常範囲内にあることを確認してください。長期使用中に、蒸発、漏れなどによりクーラントレベルが低下します。レベルが低すぎると、冷却効果に影響します。同時に、クーラントの品質を確認し、クーラントが変色しているか、乱流があるか、臭いがあるかを観察します。クーラントが悪化した場合、時間内に交換する必要があります。通常、1〜2年ごとにクーラントを交換することをお勧めします。特定の交換サイクルは、機器の使用とメーカーの推奨事項に応じて決定できます。
2。冷却パイプのメンテナンス：冷却パイプがブロックされているかどうかを確認します。冷却パイプの内側は、スケール、不純物などの蓄積により、クーラントの通常の流れに影響を与えるため、ブロックされる場合があります。パイプは、化学物質の洗浄または物理的な洗浄で洗浄できます。化学洗浄は特別なパイプ洗浄剤を使用できますが、洗浄剤の濃度と洗浄時間に注意して、パイプへの腐食を避けてください。物理的なクリーニングは、高圧の水銃のフラッシングやその他の方法で実行できます。さらに、冷却パイプのシーリングを確認して、冷却液の漏れを防ぎます。パイプに漏れがある場合、損傷したパイプ部品を時間的に修理または交換する必要があります。
3。冷却装置の検査：冷却システムの水ポンプ、ラジエーター、その他の機器を確認します。ウォーターポンプが正常に動作していることを確認してください。ウォーターポンプのインペラーは、摩耗によるポンプ容量に影響を与える可能性があります。ウォーターポンプが異常にポンピングされていることがわかった場合、水ポンプを修理または交換する必要があります。ラジエーターのヒートシンクフィンがブロックされているかどうかを確認し、ヒートシンクフィンのほこりと破片をきれいにし、ラジエーターが効果的に熱を消散できるようにします。同時に、冷却ファンの操作を確認して、ファンが通常のラジエーターに冷却空気を提供できることを確認してください。
機器の清掃と環境メンテナンス
1。機器の表面洗浄：マグネトロンスパッタリング機器の表面を定期的に清掃して、ほこり、油、その他の汚染物質を除去します。きれいな柔らかい布を使用して、適切な量の洗剤を浸し、機器の表面を優しく拭いてもらうことができます。いくつかの頑固な汚れの場合、特別な機器クリーナーを使用できますが、洗剤が機器の内側に入るのを避けるように注意してください。掃除後、清潔な布で機器の表面を拭いて、機器の外観をきれいに保ちます。
2。清潔な作業環境：機器の職場環境は、そのパフォーマンスと生活にも重要な影響を及ぼします。作業環境を清潔に保ち、定期的に地面のほこりをきれいにし、機器に入るのを避けてください。作業環境の温度と湿度を制御します。一般に、マグネトロンスパッタリング機器は、温度20〜25の環境と相対湿度が40％〜60％の環境で作業するのに適しています。周囲の温度と湿度を調整するために、空調と除湿装置を設置できます。さらに、機器の操作中に発生した熱と排気ガスの蓄積を防ぐために、作業環境が十分に換気されていることを確認してください。
要するに、マグネトロンスパッタリング機器の毎日のメンテナンスは、真空システム、スパッタリングターゲット、電気システム、冷却システム、機器の清掃、環境メンテナンスなどの複数の側面をカバーしています。オペレーターは、機器の安定した操作を確保し、機器のサービス寿命を改善し、したがってスパッタリングフィルムの品質と生産効率を向上させるために、定期的なメンテナンスのために、機器メーカーのメンテナンスマニュアルを厳密に追跡し、潜在的な問題を迅速に発見して解決する必要があります。
