真空イオンメッキ機は、そのコーティングプロセスを制御するために質量分析計を使用する必要があることがよくあり、サイクロトロン質量分析計は一種のエネルギーバランス質量分析計です。これは、正結腸の高周波電界におけるイオンのサイクロトロン共鳴現象と、その原理としてのDC磁場に基づいています。その基本原則は、Hippleらによって提案されました。 1949年。1951年、トーマス等。最初に質量分析計を開発しました。 1954年、Alpert et al。超高真空の下で残留ガスを分析するために使用できる単純なサイクロトロン質量分析計を開発し、超高真空技術の開発を大いに促進しました。 1960年、Klopferは、非共振イオン空間電荷の影響を除去できる複雑なサイクロトロン質量分析計を開発しました。質量分析計の感度は10％以内に変化しないままになる可能性があり、定量分析が可能になります。ただし、困難なパラメーター調整、複雑な構造の欠点があり、内部電極を完全に廃止することは困難です。
サイクロトロン質量分析計の分析源とイオン源は小さな空間に共存しているため、電界は非共鳴イオンによって乱れます。したがって、非共振イオンによって引き起こされる電界の歪みを克服するために、単純なサイクロトロン質量分析計に基づいて複雑なチューブ型サイクロトロン質量分析計が開発され、その性能は単純なサイクロトロン質量分析計よりも安定しています。
質量分析計の主なパラメーターは、感度定数、サイクロトロン共鳴周波数、質量m+△mの非共鳴イオンが到達できる最大半径、分解能、共鳴イオンの断片的長さ、共鳴イオンの飛行時間、共鳴イオンのサイクロトロンの数。
その利点と欠点は次のとおりです。
1.利点：部品、薄い電極、サイズが小さい、ガスが少なく、「メモリ効果」などはほとんどありません。特に、超高真空少量の残留ガス分析に適しています。
2。不利な点：不便な操作、非線形質量標準、必要な磁場が必要、スペクトル線の複雑な自動記録、および検出に電子乗数を使用できないことは、最小検出可能な圧力を制限します。
1960年、私の国である成都にある大学は、最初にサイクロトロン質量分析計を成功裏に開発しました。 1963年、中国科学アカデミーのエレクトロニクス研究所は、単純なサイクロトロン質量分析計の作業特性に関する詳細な研究を実施しました。 1965年、中国科学アカデミーの物理学研究所は、20％の定量的精度を持つ一連の単純なサイクロトロン質量分析計機器を開発し、イオンめっき機械用の質量分析器のその後の研究開発の基礎を築きました。
