光真空成膜装置のメンテナンス
(1) 拡散ポンプオイルの定期交換
拡散ポンプオイルは約 2 か月 (2 シフト) の期間使用する必要があります。 -長期にわたる高温-環境により、拡散ポンプが比較的高真空でしか作動しない場合でも、残留酸素やその他の成分が拡散ポンプ オイルと反応する可能性があります。高温により拡散ポンプオイルが分解し、品質が低下し、ポンピング時間が長くなる可能性があります。ポンピング時間が過度に長いと思われる場合は、交換する必要があります。
(2) 真空ポンプ：メカニカルポンプオイル、メンテナンスポンプオイルは２ヶ月以上使用すると変質します。これは水分、不純物、その他の要因の混入によって発生する可能性があり、オイルの粘度が低下して真空度が低下し、交換が必要になることがあります。新しい機器の場合は、使用後 2 週間以内に交換してください。慣らし期間中、オイルには高濃度の鉄粉が含まれており、摩耗が増加する可能性があります。
(3) 清潔・衛生：装置およびその周囲の衛生管理を定期的に行い、装置の内外を清潔に保ち、周囲を整理整頓し、良好な作業環境を形成し、安全を確保します。
掃除光真空成膜機
1 週間の運転（3 シフト）後、コーティング材料はワークピースの表面だけでなく、無指向性コーティングのためチャンバー内のライナーもコーティングします。-徐々に塗膜が厚くなってきます。このフィルムは構造が緩く絡み合っているため、大量のガスを吸収し、真空コーティング装置の空気の送り出しが遅くなります。この時点で、チャンバーとライナーを清掃する必要があります。不要な分解コンポーネントは研磨してきれいにすることができます。ライナーはフッ化水素酸溶液に浸漬できます。フッ化水素酸と水の比率は、必要な浸漬時間とライナーに与える望ましい効果に基づいて決定する必要があります。ライナーは取り付ける前に乾燥させる必要があります。乾燥する前に、ライナーをできるだけ乾いた状態に拭きます。ワークフレームやその他の部品をサンドペーパーで清掃した後、真空チャンバー内のゴミを取り除きます。これは掃除機で行うことができます。最後に、ライナーを取り付けるときは、真空チャンバーとライナーの両方をアルコール制御のワイプで掃除する必要があります-。コーティングを補助するために電子銃やイオン源を使用すると、洗浄が困難になる場合があります。サンドブラストまたは他の洗浄方法を使用できます。
