1つ。真空コーティングの環境要件。
真空コーティング中の基板 (ウェーハ) の表面の清浄度は非常に重要です。コーティング チャンバーに入る前に、基材は徹底的なコーティング前洗浄を受けて、油、汚れ、水分を除去する必要があります。-
基材の表面汚染は、ほこり、潤滑剤、エンジン オイル、研磨ペースト、グリース、汗など、加工、輸送、梱包中に部品に付着するさまざまな物質に起因します。湿った空気中で部品の表面に形成される酸化膜。部品表面に吸着・吸着したガスなど。真空塗装メーカーは通常、脱脂または化学洗浄方法を使用してこれらの汚染物質を除去できます。
清掃後のきれいな表面は屋外に保管せず、粉塵汚染を最小限に抑えるために密閉容器または清潔なキャビネットに保管する必要があります。新たに酸化させたアルミニウム容器にガラス基板を保管すると、これらの容器は炭化水素を優先的に吸着するため、炭化水素蒸気の吸着を最小限に抑えることができます。水蒸気の影響を受けやすい非常に不安定な表面は、通常、真空乾燥オーブンに保管する必要があります。コーティングチャンバーから塵を除去し、清潔な作業スペースを維持し、高度な清浄度を維持することは、コーティングプロセスの基本的な環境要件です。湿度の高い場所では、コーティング前に基板と真空チャンバー内のすべてのコンポーネントを注意深く洗浄することに加えて、ベーキングと脱ガスも必要です。真空室内への油の侵入を防ぐため、油拡散ポンプからの油の逆流に注意し、高発熱の拡散ポンプには油詰まり対策を講じてください。-
コーティングとフィルムコーティングの基本原理
A. 原材料と基本原理:
原材料は一般的に樹脂、ポリマー、テフロン、シリコーン、アクリル酸、ケイ酸塩などですが、副原料、配合、配合量は異なります。たとえば、乳化剤の添加量が異なると、水のようなものから乳状やペーストのようなものまで、さまざまな乳化状態が生じます。-乳化および解乳化後、これらの物質は部分的に浸透または薄膜を形成します。
B. 真空コーティング機の特徴と違い:
真空コーティング機は、優れた浸透性 (原料の粒子サイズに応じて) と優れた表面平滑性を実現します。これらは、多数の毛穴、粗い表面、重塗装作業、または光沢を高める必要がある硬質仕上げを伴うヨーロッパおよび米国の車両仕上げに特に適しています。
真空コーティング機: コーティング製品にはフィルム形成添加剤と硬化剤が含まれています。{0}真空コーティングのメーカーはインスタントフィルムを作成し、それに応じて特性が変化します。
