イオン源には多くの種類がありますが、その目的は基本的に同じです。オンライン洗浄、めっき表面のエネルギー分布の改善、反応ガスのエネルギーの調整です。イオン源は、フィルムと基材の間の結合強度を大幅に向上させると同時に、フィルムの硬度、耐摩耗性、耐食性も向上させます。工具耐摩耗層-の場合、一般に厚く、膜厚の高い均一性は必要ありませんが、ホール イオン源や陽極液イオン源など、より高いイオン電流とエネルギー レベルを備えたイオン源を使用できます。
陽極イオン源は、ホール イオン源と同様の原理で動作します。強力な磁場が狭い環状 (長方形または円形) スリット内に適用され、陽極の影響下で作動ガスがイオン化され、それがワークピースに向けられます。陽極イオン源は非常に大きく長く作ることができるため、建築用ガラスなどの大きなワークピースのコーティングに特に適しています。また、比較的大きなイオン電流も提供します。しかし、それらのイオン電流はより拡散しており、エネルギー準位の分布が広すぎます。これらは通常、大きな加工物、ガラス、研磨面、装飾部品に適しています。しかし、先進的な光学コーティングへの応用はあまり普及していません。
イオン源には多くの種類がありますが、その目的は基本的に同じです。オンライン洗浄、めっき表面のエネルギー分布の改善、反応ガスのエネルギーの調整です。イオン源は、フィルムと基材の間の結合強度を大幅に向上させると同時に、フィルムの硬度、耐摩耗性、耐食性も向上させます。工具耐摩耗層-の場合、一般に厚く、膜厚の高い均一性は必要ありませんが、ホール イオン源や陽極液イオン源など、より高いイオン電流とエネルギー レベルを備えたイオン源を使用できます。
陽極イオン源は、ホール イオン源と同様の原理で動作します。強力な磁場が狭い環状 (長方形または円形) スリット内に適用され、陽極の影響下で作動ガスがイオン化され、それがワークピースに向けられます。陽極イオン源は非常に大きく長く作ることができるため、建築用ガラスなどの大きなワークピースのコーティングに特に適しています。また、比較的大きなイオン電流も提供します。しかし、それらのイオン電流はより拡散しており、エネルギー準位の分布が広すぎます。これらは通常、大きな加工物、ガラス、研磨面、装飾部品に適しています。しかし、先進的な光学コーティングへの応用はあまり普及していません。
ホールイオン源真空塗装機強力な軸方向磁場の支援を受けてプロセスガスをイオン化します。この軸方向の磁場の強い不均衡により、ガスイオンが分離され、イオンビームが形成されます。軸方向の磁場の強さのため、ホール イオン ソースのイオン ビームはイオンの流れを中和するために追加の電子を必要とします。一般的な中和源はタングステン フィラメント (陰極) です。
