真空塗装機主に、比較的高い真空度で行う必要があるコーティングの種類を指し、真空イオン蒸着、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング蒸着など、多くの種類が含まれます。主な考え方は、蒸着とスパッタリングの2種類に分けることです。
グラデーションカラープロセスでは、一般にマグネトロンスパッタリングコーティング装置が使用されます。現在、Huawei や Lenovo などの多くの携帯電話モデルのグラデーション カラー ケースでは、PVD 真空グラデーション コーティング プロセスが使用されています。
マグネトロン スパッタリングは、物理蒸着 (Physical Vapor Deposition、PVD) の一種です。一般的なスパッタリング法は、金属、半導体、絶縁体などの材料の作製に使用でき、設備が簡単、制御が容易、塗布面積が広く、密着力が強いなどの利点があります。
1970年代に開発されたマグネトロンスパッタリング法は、高速、低温、低ダメージを実現しました。高速スパッタリングは低圧力下で実行されるため、ガスのイオン化率を効果的に高める必要があります。マグネトロン スパッタリングでは、ターゲット カソードの表面に磁場を導入し、その磁場を使用して荷電粒子を拘束し、プラズマ密度を高めてスパッタリング レートを高めます。
マグネトロンスパッタリング真空塗装機は、真空条件下で既存の製品を塗装するために最も一般的に使用される装置です。完全なマグネトロン スパッタリング真空コーティング機は、システムの複数の部分で構成されています。各システムはさまざまな機能を実行して、最終的な高品質のコーティングを実現できます。-マグネトロンスパッタリングコーティングのコンポーネントには、真空チャンバー、メカニカルポンプ、真空試験システム、油拡散ポンプ、真空システム、凝縮ポンプ、成膜制御システムなどが含まれます。
マグネトロンスパッタリング真空成膜装置の本体は真空チャンバーです。真空チャンバーのサイズは加工する製品によって決まります。マグネトロンスパッタリングコーティングのサイズはカスタマイズ可能です。チャンバーは通常、ステンレス鋼で作られており、強度、耐久性、錆びないことが求められます。-マグネトロンスパッタリングコーティング真空チャンバーには、さまざまな補助ポンプを接続するための接続バルブが多数あります。
マグネトロンスパッタリング膜形成制御システムは、固定めっき時間、外観検査、極限監視、結晶振動監視などのさまざまな方法を採用できます。真空塗装機や真空塗装機の塗装方法も様々な工程に分かれています。よく使われるのはイオン蒸着塗装やマグネトロンスパッタリング塗装などです。マグネトロンスパッタリングでメッキされる膜層は密着力が強く純度が高く、組成の異なる様々な材料を同時にスパッタリングすることができます。
