マルチアークコーティングマシンの作業原則

マルチアークコーティング機は、複数のアーク源（4-16）を介して高温血漿を生成し、金属材料を蒸発させ、基質の表面に堆積して効率的なコーティングを実現します（フィルムの均一性±5％）。そのコア真空チャンバーは、コーティングチャンバー（真空度は10^-3pa以下）および前処理チャンバーに分割されます。前者は、低気性環境を保証し、後者は接着を改善するために基質の洗浄と研磨に使用されます。重要なプロセスパラメーターには、ARCソースの出力（20-200A）、基質温度（100〜300度）、堆積速度（1-10NM/s）が含まれます。これらは、基質形状（複雑な湾曲表面など）および材料（金属/セラミック）に従って動的に調整する必要があります。光レンズ反反射フィルムやツールハードコーティングなどのシーンに適しています。