現在、真空成膜機の薄膜を監視するには多くの方法があり、主に目視監視、固定（極値）監視、水晶振動監視、時間監視などがあります。この記事では主に、視覚監視、固定値（極値）監視、水晶発振監視の3つの方法を紹介します。ビジュアル モニタリングは、ダイレクト モニタリングとも呼ばれ、目を使用してフィルムをモニタリングします。膜の成長過程では干渉現象により色の変化が起こり、その色の変化をもとに膜厚を制御します。この方法はある程度の誤差があり、あまり正確ではないため、経験が必要です。
固定値（極値）モニタリング: これは主に反射型（透過型）光学モニタリングを使用します。極値監視方法: 膜厚が増加すると、それに応じて反射率と透過率が変化します。反射率または透過率が極値に達すると、コーティングの光学的厚さ ND は監視波長 (λ) の 4 分の 1- の整数倍になると決定できます。ただし、極値法では、反射率または透過率が極値付近で非常にゆっくりと変化するため、比較的大きな誤差が生じます。つまり、R/T は膜厚 ND が大幅に増加した後にのみ変化します。最も感度の高い位置は波長の 1/8 です。-固定値監視方法: この方法は、コーティングの停止点が監視波長の 4 分の 1 にないという事実を利用します。-。次に、塗布の終了点である波長１における全膜厚の反射率（または透過率）をコンピュータが計算します。水晶振動のモニタリング: 水晶振動の動作原理は、水晶の振動周波数がその質量に反比例するという原理に基づいています。ただし、水晶モニタリングの欠点の 1 つは、膜厚が一定レベルまで増加すると、水晶自体の特性により、振動周波数が厚さと完全に線形に関係しなくなることです。この場合、新しい水晶振動子を使用する必要があります。
いくつかの監視方法にはそれぞれ長所と短所がありますが、多層コーティングの場合、通常は光学式監視が主な方法であり、水晶振動子によって補助されます。{0}さらに、コーティング中にガス注入を必要とする一部のプロセスでは、流量計または圧力計が必要となり、制御のために高精度のバルブと光電センシングシステムが必要になります。真空塗装機には回転制御システムも必要です。傘の主軸はベアリング内に配置され、モーターがベアリングを駆動して傘を回転させます。回転速度は PLC によって制御されます。るつぼの回転はモーターと光電誘導計数を使用して駆動され、シールド プレートは空気圧スイッチを使用して回転します。排気速度を加速して特定の真空レベルを達成するには、真空チャンバーを冷却する必要があります。これにより、内部の空気が摂氏 130 度まで凍結され、水蒸気が凍結して除去されます。電気制御部は主にPLC自動制御を採用しています。あらかじめ設計されたプログラムがまず PLC に入力され、プロセッサの主回路が操作パネル上の各無負荷システムに接続されます。-操作パネルのスイッチが押されると、その情報が中央処理装置に送信され、中央制御システムが分析して分岐回路に指示を出し、アクションを実行して完了します。
真空塗装機は、複数の分野を統合する装置です。これらには、最先端の電気機械技術、制御技術、電気自動化、IT 技術、冷凍技術、超小型回路統合システム、高電圧制御システム、機械技術、加工技術、オプトエレクトロニクス技術、光学技術、空気圧制御技術、オプトエレクトロニクスセンシング技術、通信技術、真空技術、薄膜光学およびコーティング技術などが組み込まれています。-真空成膜機は新興産業の代表格と言えます。今日、真空コーティング機は、特に薄膜の製造に広く使用されています。製造されたさまざまな薄膜は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、望遠鏡、プロジェクター、エネルギー制御、光通信、ディスプレイ技術、干渉計、人工衛星およびミサイル、半導体レーザー、マイクロ電気機械システム、情報産業、レーザー製造、各種フィルター、照明産業、センサー、建築用ガラス、自動車産業、装飾品、コイン、眼鏡レンズなどのさまざまなオプトエレクトロニクスシステムおよび光学機器に使用されています。塗装機械は人々の生活に密接に組み込まれています。
