マグネトロン スパッタリング ロールツーロール真空コーティング機--金属ストリップ、パッケージング、フレキシブル エレクトロニクス、ホログラフィック偽造防止、コンデンサ フィルムなどの分野で広く使用されています。{0}}したがって、金属ストリップで使用されるロール-ツー-コーティング機を金属ストリップロール-ツー-真空コーティング機、包装で使用されるものを包装ロール-ツー-真空コーティング機、フレキシブルエレクトロニクスで使用されるものをフレキシブルエレクトロニクスロール-ツー-コーティング機などと呼ぶことがよくあります。適用分野が異なるため、名前も異なりますが、コーティング技術は似ています。ここで、Puyuan Vacuum は、マグネトロン スパッタリング ロールツーロール真空コーティング機の特徴を詳しく紹介します。-}
マグネトロン スパッタリング ロールツーロール コーティングでは、マグネトロン スパッタリング (DC、IF、RF) を使用して、さまざまな金属、合金、化合物、セラミック、その他の材料をフレキシブル基板上に堆積し、単層または多層コーティングを行います。-蒸着ロールツーロールコーティング装置と比較して、マグネトロンスパッタリングロールツーロールコーティング装置-ツーロールコーティング装置-は、コーティング原理によって決定される生産効率が低く、装置コストが高くなります。しかし、マグネトロンスパッタリングには、コーティング温度が低い、連続多層コーティングのために複数のターゲットを任意の位置に配置できる、適用可能なコーティング材料の範囲が広い、制御可能な膜厚、緻密で均一な膜、強力な密着性などの利点があります。{10}
マグネトロン スパッタリング ロールツーロール コーティングでは、マグネトロン スパッタリング (DC、IF、RF) を使用して、さまざまな金属、合金、化合物、セラミック、その他の材料をフレキシブル基板上に堆積し、単層または多層コーティングを行います。-蒸着ロールツーロールコーティング装置と比較して、マグネトロンスパッタリングロールツーロールコーティング装置-ツーロールコーティング装置-は、コーティング原理によって決定される生産効率が低く、装置コストが高くなります。しかし、マグネトロンスパッタリングには、コーティング温度が低い、連続多層コーティングのために複数のターゲットを任意の位置に配置できる、適用可能なコーティング材料の範囲が広い、制御可能な膜厚、緻密で均一な膜、強力な密着性などの利点があります。{10}
