真空塗装機における真空管塗装の原理は、電場の影響下で基板に向かって加速された電子がアルゴン原子と衝突し、多数のアルゴンイオンと電子にイオン化するというものです。その後、電子は基板に向かって飛びます。電場によって加速されたアルゴンイオンがターゲット材料に衝突し、多数のターゲット原子をスパッタリングし、中性のターゲット原子（または分子）として基板上に堆積して膜を形成します。二次電子は、基板に向かって加速する際、磁場のローレンツ力の影響を受け、ターゲット表面近くのプラズマ領域に閉じ込められます。この領域はプラズマ密度が高く、二次電子は磁場の影響を受けてターゲット表面の周りを円運動します。
この長い運動経路には、アルゴン原子との継続的な衝突が含まれ、イオン化して多数のアルゴン イオンがターゲット物質に衝突します。複数回の衝突の後、電子は徐々にエネルギーを失い、磁力線から解放され、ターゲット材料から遠ざかり、最終的に基板上に堆積します。ここで、中周波マグネトロン スパッタリング ターゲットを追加すると、膜の蒸発分子が加速され、電場の作用下でターゲット材料に衝突し、多数のターゲット原子がスパッタリングされます。
中性のターゲット原子（または分子）を基板上に蒸着させて膜を形成するため、チタンめっきやジルコニウムめっきなど、これまで自然蒸着では加工できなかった膜種の問題を解決します。
現在、真空管にはアルミニウム-窒素複合膜が一般的に使用されています。フィルム全体は内層、中層、外層の3層で構成されており、それぞれが独自の機能を持っています。内側の層は反射層であり、その主な機能はチューブ内の熱水からの熱が外側に放射するのを防ぐことです。
中間層は吸収層であり、その主な機能は光エネルギーを吸収して熱エネルギーに変換することです。
外側の層は反射防止層であり、その主な機能は太陽光の反射を減らし、太陽光の吸収率を高めることです。{0}}
