シール性能は真空成膜装置の設計において重要な要素であり、その品質はその後の真空引き工程で成膜に必要な真空度を達成できるかどうかに直接影響します。この要件が満たされない場合、膜の形成や品質に直接影響します。真空塗装装置やシステムの良好なシール性能を確保するには、設置後に単に漏れを特定して遮断するだけでは十分ではありません。真空塗装装置やシステムの設計、製造、試運転、使用のすべての段階で真空漏れ検出を実施する必要があります。
設計上の考慮事項真空コーティング機
1. プロセス要件に基づいて真空装置の最大許容リーク量の合計を決定し、この合計リーク量に基づいて各コンポーネントの最大許容リーク量を決定します。
2. 機器の最大許容漏れ率およびその他の指標に基づいて、設計段階で使用する漏れ検出方法を事前に決定し、これを試運転および受け入れの指針となる基本原則の 1 つとして使用します。
3. 機器またはコンポーネントの最大許容漏れ率指標に基づいて、シールおよび接続方法、機器の全体的な加工精度、および要件を満たすことができる動的シールのタイプを決定します。たとえば、フランジにメタルシールを使用するかゴムシールを使用するかなどです。
4. 容器の構造強度を設計する際には、圧力漏れ検知方式を使用する場合には、試験対象部品に必要な耐圧性と構造強度を考慮してください。
5. コンポーネントの構造材料を選択するときは、作動媒体や漏れ検査用ガスによって腐食や損傷を受ける可能性のある材料が使用されているかどうかを考慮してください。-
6. 構造設計中、機器の組み立ておよび試運転中に使用できるように、漏れ検出機器に必要な予備のインターフェースをコンテナまたはシステムに提供する必要があります。特に大規模で複雑な配管システムでは、セグメント化された漏れ検出方法が必要になることがよくあります。したがって、セグメント化された隔離バルブをパイプラインに設置し、漏れ検出装置のインターフェースを各隔離セグメントに確保する必要があります。
7. 構造コンポーネントを設計するときは、漏れの検出を妨げる可能性のある設計スキームを避けてください。たとえば、真空チャンバーのネジ穴には止まり穴を使用しないでください。ネジを取り付けた後、ネジ穴内の残りの空間にあるガスはネジの隙間からしか逃げることができず、誤ったリークが形成されるためです。これにより、システムの排気時間が長くなり、通常の漏れ検出が妨げられます。真空漏れ検出に表示されない構造については、図を参照してください。
8. 同様に、連続的な両面溶接や多層シール リング構造は、構造設計では許可されていません。これらは中央に「寄生ボリューム」を作成し、内部のガス漏れを引き起こすためです。さらに、内側と外側の溶接部またはシール リングの両方で同時に漏れが発生すると、「寄生容積」により、漏れたガスが二重層溶接部を通過するまでの応答時間が長くなりすぎ、通常の漏れ検出が不可能になります。-
9. 溶接構造の設計では、最終組み立て後に漏れが検出できない溶接の数を最小限に抑えます。
以上は真空成膜装置におけるリーク検査の注意事項です。シール性能の品質は、機器が正常に受け入れられるかどうか、またその品質が規格を満たしているかどうかに直接影響します。
